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壓阻式壓力變送器利用集成電路工藝直接在單晶硅膜片上按一定晶向制成擴(kuò)散壓敏電阻,當(dāng)單晶硅膜片受壓時,膜片的變形將使擴(kuò)散電阻的阻值發(fā)生變化。
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