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問答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述正膠和負(fù)膠區(qū)別。
答案：
正膠：曝光的部分易溶解，占主導(dǎo)地位；
負(fù)膠：曝光的部分不易溶解。負(fù)膠的粘附性和抗刻蝕性能好，但分辨率低。
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問答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述什么是光刻膠、光刻膠的用途、光刻對(duì)光刻膠的要求。
答案：
光刻膠是一種有機(jī)化合物，它受紫外線曝光后在顯影液中的溶解度發(fā)生顯著變化，而未曝光的部分在顯影液中幾乎不溶解。
光...
光...
問答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述光刻工藝的8個(gè)基本步驟。
答案：
①氣相成底膜；
②旋轉(zhuǎn)涂膠；
③軟烘；
④對(duì)準(zhǔn)和曝光；
⑤曝光后烘培（PEB）；
⑥顯影；
⑦堅(jiān)膜烘培；
⑧顯影檢查。
