問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述高能離子轟擊的內(nèi)容。

答案： ①離子反射（能量很小）；
②離子吸附（<10eV），能量轉(zhuǎn)化熱能；
③離子注入（>10keV），能量...

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答案：

優(yōu)點(diǎn)：非常好的間隙填充能力，成本低、溫度低。
缺點(diǎn)：需要導(dǎo)電種子層，控制復(fù)雜。

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答案：

優(yōu)點(diǎn)：①臺(tái)階覆蓋能力好；②能沉積金屬合金；③能進(jìn)行原位濺射刻蝕。
缺點(diǎn)：濺射速率低，金屬膜含氬。