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單項選擇題

工業(yè)機器人有多種分類方式，下列不屬于按驅(qū)動方式分類的是（）。

a.氣壓傳動機器人
b.液壓傳動機器人
c.電器傳動機器人
d.智能機器人

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單項選擇題

硅微體刻蝕加工和硅微面刻蝕加工的區(qū)別在于（）。

a.體刻蝕加工對基體材料進行加工，而面刻蝕加工不對襯底材料進行加工；
b.體刻蝕加工不對基體材料進行加工，而面刻蝕加工對襯底材料進行加工；
c.體刻蝕加工可獲得高縱橫比的結(jié)構(gòu)，而面刻蝕加工只能獲得較低縱橫比的結(jié)構(gòu)；

單項選擇題

光刻加工采用的曝光技術(shù)中具有最高分辨率的是（）。

A.電子束曝光技術(shù)
B.離子束曝光技術(shù)
C.X射線曝光技術(shù)

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