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判斷題

在半導體產(chǎn)業(yè)界第一種類型的CVD是APCVD。

答案：正確

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外延就是在單晶襯底上淀積一層薄的單晶層，即外延層。

答案：正確

LPCVD反應(yīng)是受氣體質(zhì)量傳輸速度限制的。

答案：正確

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