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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】光刻膠厚度隨什么變化？
答案：
粘度越高轉(zhuǎn)速越低，光刻膠就越厚
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】負(fù)膠的兩大缺點(diǎn)是什么。
答案：
在顯影時(shí)曝光區(qū)域由溶劑引起的泡脹；曝光時(shí)光刻膠可與氮?dú)夥磻?yīng)從而抑制其交聯(lián) 。
問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】列出并描述I線(xiàn)光刻膠的4種成分。
答案：
1.樹(shù)脂。光刻膠樹(shù)脂是一種惰性的聚合物基質(zhì)，用于把光刻膠中的不同材料聚在一起的粘合劑
2.感光劑。是光刻膠材料...
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