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問答題

【簡(jiǎn)答題】DUV波長(zhǎng)曝光時(shí)使用哪種透鏡材料？

答案：一種合適的透鏡材料是熔融石英，他是深紫外波長(zhǎng)范圍內(nèi)的較少的光吸收，氟化鈣正在作為一種可能的候選透鏡材料。

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【簡(jiǎn)答題】典型的DUV光刻膠曝光劑量的寬容度是多少？

答案：深紫外光刻膠的曝光寬容度是劑量變化范圍在1%左右。

【簡(jiǎn)答題】哪種激光器用做248nm的光源，193nm的光源是什么？

答案：通常用于深紫外光刻膠的準(zhǔn)分子激光器是波長(zhǎng)為248nm氟化氪（KrF）激光器，193nm的氟化氪激光器大概是作為曝光源的準(zhǔn)...