問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】如果光波長(zhǎng)減小分辨率會(huì)有什么變化，如果NA增加了呢？

答案： 光波長(zhǎng)減小分辨率提高。
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【簡(jiǎn)答題】陳述分辨率公式。影響光刻分辨率的三個(gè)參數(shù)？
答案：

R.K*入/NA
1，波長(zhǎng) 入
2，數(shù)值孔徑NA
3，工藝因子K
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