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問答題
【簡答題】列舉離子注人優(yōu)于擴(kuò)散的7點(diǎn)。
答案：
1.精確控制雜質(zhì)含量。
2.很好的雜質(zhì)均勻性。
3.對雜質(zhì)穿透深度有很好的控制。
4.產(chǎn)生...
2.很好的雜質(zhì)均勻性。
3.對雜質(zhì)穿透深度有很好的控制。
4.產(chǎn)生...
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