填空題

變極距式電容傳感器的電容變化與極板間距之間的關(guān)系是成（）關(guān)系，為了減小這種關(guān)系帶來(lái)的測(cè)量誤差，常采用（）結(jié)構(gòu)來(lái)解決。

答案： 非線性；差動(dòng)
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從原理來(lái)分，電容式傳感器結(jié)構(gòu)類型有：（）、（）、（）。
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