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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述鋁的結(jié)穿刺現(xiàn)象及解決方法。
答案：
在純鋁和硅的界面加熱合金化過(guò)程中（450～500℃），硅開(kāi)始溶解在鋁中直到在鋁中的濃度達(dá)到0.5％，該過(guò)程消耗硅并在硅中...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述鋁互連的優(yōu)缺點(diǎn)。
答案：
優(yōu)點(diǎn)：①電阻率低；
②鋁的成本低；
③與硅和二氧化硅的粘附性好；
④易于沉積成膜（蒸發(fā)、濺...
②鋁的成本低；
③與硅和二氧化硅的粘附性好；
④易于沉積成膜（蒸發(fā)、濺...
問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述高能離子轟擊的內(nèi)容。
答案：
①離子反射（能量很?。?；
②離子吸附（<10eV），能量轉(zhuǎn)化熱能；
③離子注入（>10keV），能量...
②離子吸附（<10eV），能量轉(zhuǎn)化熱能；
③離子注入（>10keV），能量...
