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【簡(jiǎn)答題】描述曝光波長和圖像分辨率的關(guān)系。
答案:
較短的波長可以獲得光刻膠上較小尺寸的分辨率。
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答案:
粘度越高轉(zhuǎn)速越低,光刻膠就越厚
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